2025年鈣鈦礦技術(shù)持續(xù)狂飆，效率躍升、穩(wěn)定性突破……近期《科學(xué)》雜志發(fā)表一篇國內(nèi)企業(yè)和高校**團(tuán)隊(duì)的研究成果，結(jié)合旋涂與真空閃蒸工藝，提出了鈣鈦礦吸光層制備的革新技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了平米級鈣鈦礦組件的穩(wěn)定批量生產(chǎn)的重大突破①。
①B. Yan et al., Science 388, eadt5001 (2025). DOI:10.1126/science. adt5001
該成果研究了真空狀態(tài)下氣流等因素對鈣鈦礦吸光層結(jié)晶過程的影響。鈣鈦礦的結(jié)晶窗口很短，需在鈣鈦礦濕膜干燥過程中快速抽真空至較低壓力，并嚴(yán)格氣流等因素，以保證更好的結(jié)晶效果。
因此，真空閃蒸（VCD）是鈣鈦礦吸光層制備工藝中的關(guān)鍵一環(huán)，該環(huán)節(jié)影響了鈣鈦礦電池的*終光電性能。作為VCD工藝的核心裝備，真空泵的性能更是直接決定了薄膜質(zhì)量與生產(chǎn)效率。在該工藝中，真空系統(tǒng)面臨嚴(yán)苛的工藝要求：
必須在數(shù)秒內(nèi)達(dá)到0.1Pa甚至0.01Pa的高真空環(huán)境
必須抵御有機(jī)溶劑（如DMF/DMSO）的侵蝕。
要求低能耗、低噪音、高集成度，滿足量產(chǎn)需求
GXS/EXS系列憑借其**性能，高度契合鈣鈦礦VCD工藝對快速抽空與強(qiáng)耐腐蝕的核心需求。其智能化和集成化設(shè)計(jì)，更能滿足未來GW級量產(chǎn)線對維護(hù)便捷性、節(jié)能降耗（水/電/氣）及空間節(jié)省的嚴(yán)苛要求。
**第四代“Quimby”變徑變距螺桿技術(shù)，效率更高
強(qiáng)勁抽速與優(yōu)異極限真空：保障工藝所需的高效抽空能力抽速范圍160~3450m3/h，極限真空0.05P
溫度控制+多級吹掃系統(tǒng)，有效防止有機(jī)溶劑腐蝕
多重防護(hù)，確保長久運(yùn)行穩(wěn)定可靠
三級軸封技術(shù)+軸封吹掃+陶瓷軸承+氟油潤滑可選
機(jī)載智能控制系統(tǒng)，主動(dòng)式全變頻控制，能耗低
集成度高，占地面積小
關(guān)鍵性能特點(diǎn)
? 抽速：2200L/s（ISO250F），極限真空10-6Pa(烘烤后)
? *大連續(xù)氬氣流量：1000sccm
? 可選轉(zhuǎn)子涂層以提高耐腐蝕性
?多種通信選項(xiàng)：I/O 遠(yuǎn)程控制、RS232/485、Profibus、EtherCAT
關(guān)鍵優(yōu)勢
? 緊湊尺寸：同類型產(chǎn)品尺寸*小，高度僅360mm， 安裝簡便，360°安裝 ? 輕量化設(shè)計(jì)：45kg的總重量，市場同類型產(chǎn)品*小設(shè)計(jì)理念** ? 節(jié)能：總功耗0.75kw，同類型產(chǎn)品*小，使用成本低
? 性能優(yōu)化：水冷系統(tǒng)設(shè)計(jì)理念先進(jìn)，不需要額外水閥，不區(qū)分進(jìn)出水口
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